sick施克安全光栅尺传感器$n类型类型 4 （IEC 61496-1）$n安全完整性等级$nSIL3 （IEC 61508）$n$nSILCL3 （IEC 62061）$n$n类别类别 4 （ISO 13849-1）$n性能等级PL e （ISO 13849-1）$nPFHD（每小时危险失效率）3,7 x 10-9$nTM（持续运行时间）20 年 （ISO 13849-1）